薄膜生長表面形貌的計算機(jī)模擬研究.pdf

1、薄膜科學(xué)在現(xiàn)代科技領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用，研究薄膜的生長過程對于發(fā)展新性能的新型材料及提高傳統(tǒng)薄膜材料的質(zhì)量和性能都有著重要的指導(dǎo)作用?；谟嬎銠C(jī)技術(shù)的薄膜生長的蒙特卡羅模擬可以動態(tài)通真地顯示薄膜的生長過程，直觀合理地解釋實驗觀察的現(xiàn)象，為調(diào)整優(yōu)化薄膜制備工藝條件、創(chuàng)建或補(bǔ)充理論提供重要依據(jù)。
　　本文基于蒙特卡羅方法對薄膜的生長過程進(jìn)行了計算機(jī)模擬研究。在研究過程中以金屬銅為對象，模擬其在面心立方(100)面的生長，獲得了不同基底

2、溫度下薄膜生長的表面形貌，分析了基底溫度對薄膜生長的影響，得到了許多有意義的結(jié)果。
　　首先，敘述了本課題的背景、研究目的和意義；介紹了計算機(jī)模擬薄膜生長的發(fā)展和研究現(xiàn)狀，薄膜生長理論及蒙特卡羅模擬的理論和方法，為后面的研究提供了理論基礎(chǔ)。
　　其次，將蒙特卡羅模擬和薄膜生長理論相結(jié)合，建立了基于蒙特卡羅方法的薄膜三維生長模型，采用周期性的邊界條件，算法處理過程中考慮粒子的表面擴(kuò)散、層間擴(kuò)散和沿島邊擴(kuò)散，兩粒子間勢能的計算采