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文檔簡介
1、近年來,微電子器件的集成度和柔性化程度的提高給相應(yīng)的制作技術(shù)提出了越來越高的要求。直寫技術(shù)由于具有無掩膜、工藝簡單、柔性化程度高等優(yōu)點(diǎn),在電子元件制造領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。然而,目前應(yīng)用于直寫工藝的傳統(tǒng)電子漿料由于功能相顆粒大,燒結(jié)溫度高,大大限制了直寫工藝的發(fā)展。高性能有機(jī)銀漿料由于具有許多傳統(tǒng)電子漿料無可比擬的優(yōu)點(diǎn),可望從根本上解決當(dāng)前直寫漿料存在的技術(shù)困難,因而成為當(dāng)前電子漿料領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。
本文提出并研制了一種應(yīng)
2、用于直寫技術(shù)的無固體顆粒的高性能有機(jī)銀漿料,該漿料含有導(dǎo)電功能相前驅(qū)體——有機(jī)銀銀絡(luò)合物烷基胺基甲酸銀((CnH2n-1NHCOO)2Ag,n≤4)。這種前驅(qū)體在后處理(燒結(jié)或激光加工)過程中,可以分解出具有導(dǎo)電性能的納米銀顆粒。該漿料的成分除含有功能相外,還含有增稠劑(乙基纖維素)、流平劑等助劑。
實(shí)驗(yàn)表明,該漿料體系為非牛頓流體,通過調(diào)節(jié)增稠劑或溶劑的含量可以顯著改變其粘度。而且,該漿料還具有良好的存放穩(wěn)定性。
3、 進(jìn)一步實(shí)驗(yàn)表明,該漿料的最佳熱處理工藝為:在氧氣氣氛下,以10℃/min的升溫速率升至最終燒結(jié)溫度下,保溫1h后隨爐溫冷卻。該漿料的固含量在10~20 wt.%范圍內(nèi)可調(diào),于180℃下燒結(jié)1h后,漿料的電阻率可以達(dá)到10-5Ω·cm數(shù)量級。燒結(jié)后的漿料層與基板的粘附性根據(jù)美國測試與材料學(xué)會 (ASTM)標(biāo)準(zhǔn)D 3359-08中的方法B——膠帶法進(jìn)行測定,在有機(jī)基板(如聚酰亞胺)上的粘附級別可以達(dá)到最高級別5B。
將
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