激光打標(biāo)機(jī)光路元件的分析與設(shè)計(jì).pdf

1、激光掃描是激光技術(shù)的一個(gè)非常重要的應(yīng)用領(lǐng)域。高慣性激光掃描系統(tǒng)具有良好的線性，準(zhǔn)確度高，頻率可延伸到10～100Hz，現(xiàn)已廣泛采用在各種光機(jī)電系統(tǒng)中。采用多面棱鏡掃描時(shí)，相對(duì)于雙面鏡在系統(tǒng)中引入的誤差小。激光掃描要求掃描像高與光束入射角成線性關(guān)系，即y=f·q，所以大多數(shù)激光標(biāo)刻機(jī)采用F-Theta鏡的掃描系統(tǒng)，其中F-Theta鏡的光學(xué)性能很大程度上決定了掃描面積的大小。大工作面積的F-Theta鏡通過引入相對(duì)較大的負(fù)畸變來保持像高與

2、入射角的線性關(guān)系，同時(shí)容易造成光能量利用率低的問題。
　　 激光標(biāo)刻系統(tǒng)是綜合了激光技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的光、機(jī)電一體化系統(tǒng)，具有巨大的發(fā)展?jié)摿蛷V闊的市場(chǎng)前景。目前國(guó)內(nèi)用于激光標(biāo)刻機(jī)掃描鏡頭的工作面積一般不超過300mm×300mm。在對(duì)激光標(biāo)刻技術(shù)要求日益提高的今天，鏡頭掃描面積如果過小，將會(huì)成為一項(xiàng)技術(shù)瓶頸。
　　 本文對(duì)大工作面F-Theta鏡頭的光學(xué)設(shè)計(jì)理論和思想作了具體闡述，通過對(duì)激光掃描系統(tǒng)的分析，得出合理的參