MEMS生物傳感器芯片中的信號讀出電路的設(shè)計.pdf

1、結(jié)合了機械與電子系統(tǒng)的MEMS生物傳感器芯片，不但已經(jīng)成為探測生化物質(zhì)的有效工具，而且可以達到較高的探測精度。基于微懸臂梁的MEMS系統(tǒng)可把對生化物質(zhì)的識別轉(zhuǎn)化為機械運動，而這種運動一般可以通過光學(xué)或者壓阻識別系統(tǒng)反應(yīng)出來，并最終通過集成電路技術(shù)將得到的信號轉(zhuǎn)化為可被人類識別的量。因此，基于微懸臂梁式的MEMS生物傳感器是將微納米材料技術(shù)、生物技術(shù)、微機械技術(shù)和微電子技術(shù)相結(jié)合的一個典范。 本論文旨在研究一種可復(fù)用硅壓阻懸臂梁固

2、相陣列集成芯片的信號讀出電路，實現(xiàn)傳感器信號的讀出功能，并在天津大學(xué)ASIC設(shè)計中心與國家納米技術(shù)與工程研究院關(guān)于開展“用于生化檢測的懸浮編碼微塊的研究”項目背景下實現(xiàn)傳感器對生化物質(zhì)的探測，其主要工作如下： 利用壓阻材料制作成惠斯通電橋，并利用壓阻效應(yīng)將傳感器微懸臂梁生成的機械信號轉(zhuǎn)化為電信號。隨后利用CMOS模擬集成電路技術(shù)對前端電橋的輸出小信號進行低噪聲放大，并設(shè)計用于實現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換的∑△ADC中的調(diào)制器。 本文創(chuàng)新