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文檔簡(jiǎn)介
1、 本文首先給出了壓電石英晶體機(jī)電耦合的有限元數(shù)學(xué)模型。在該有限元數(shù)學(xué)模型基礎(chǔ)上，使用ANSYS軟件對(duì)石英晶片進(jìn)行模態(tài)分析，比較仿真結(jié)果，進(jìn)而完成了寬度彎曲振動(dòng)工作模式的RQTS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。研究了晶片的結(jié)構(gòu)尺寸加工誤差對(duì)這類傳感器工作頻率的影響，為制作中選擇經(jīng)濟(jì)的加工精度提供了手段。 然后設(shè)計(jì)出它的調(diào)理電路——CMOS集成振蕩器，完成了諧振式石英溫度傳感器的總體設(shè)計(jì)。通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試，驗(yàn)證了整個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的合理性，并采用最小二乘擬合法
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