InP-InGaAs單行載流子光電二極管的研究.pdf

1、InP/InGaAs單行載流子光電二極管(UTC-PD)是一種高速、高飽和輸出的新型光電探測器,其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是由p型中性光吸收層和n型寬帶隙集結(jié)層構(gòu)成,并且只用電子作為有源載流子。UTC-PD和光放大器組成的光接收機(jī),其性能優(yōu)于傳統(tǒng)的光電二極管和后置電放大器組成的光接收機(jī),從而可以省去電放大器,擴(kuò)展了帶寬的同時(shí)還簡化了接收機(jī)的結(jié)構(gòu)。在現(xiàn)有的實(shí)驗(yàn)條件下,我們在國內(nèi)首次提出了UTC-PD的研究課題。在這一年多的時(shí)間中,我們主要圍繞著UTC-P

2、D的研究展開了以下三方面工作:1.在了解國外UTC-PD發(fā)展動(dòng)態(tài)和理論分析的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了器件結(jié)構(gòu)。其設(shè)計(jì)內(nèi)容主要包括外延材料的選擇與生長、外延層結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)、光耦合的設(shè)計(jì)及器件的封裝。2.通過大量的實(shí)驗(yàn)研究,確定了研制UTC-PD的工藝流程,并對(duì)影響器件性能的關(guān)鍵工藝進(jìn)行詳細(xì)地研究。比如,光刻工藝、選擇性濕化學(xué)臺(tái)面腐蝕工藝、SiO2/SiNx鈍化工藝等。3.對(duì)研制的UTC-PD樣品的主要性能參數(shù)進(jìn)行測試。在4V反向偏壓下,實(shí)驗(yàn)測得暗電流