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1、放電等離子燒結(jié)技術(shù)(Spark Plasma Sintering,簡稱SPS技術(shù))是一種先進(jìn)的材料制備技術(shù),具有燒結(jié)溫度低、時(shí)間短和燒結(jié)效率高等特點(diǎn).該文采用這一技術(shù)成功制備了新型Ti基底多層復(fù)合TbFeCo磁光靶材.與傳統(tǒng)TbFeCo磁光靶材相比,新靶材具有組織單相性好、致密度高以及強(qiáng)度和韌性良好等優(yōu)點(diǎn).此外,該研究新開發(fā)的多過渡層復(fù)合靶材制備技術(shù)在解決靶材在濺射過程中由于熱量積聚而碎裂以及回收率低等問題上取得了較好的效果,提供了一種
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