基于變權值EWMA的混和產品批間控制方法研究.pdf

1、近些年來，隨著集成電路行業(yè)的飛速發(fā)展，半導體晶圓的尺寸變得越來越大，另一方面，關鍵尺寸的技術節(jié)點則日益縮小，為保證新技術下硅片產品的質量，很多集成電路制造商紛紛引入一些先進的工藝控制技術。批間控制是一種離散的控制方法。通過精確、及時地調整工藝的參數(shù)配置控制硅片特征尺寸等指標，最大程度的降低了硅片之間的差異。由于其顯著的控制效果，批間控制被廣泛的應用于晶圓生產控制中。指數(shù)加權平均移動反饋控制是批間控制的一種重要算法。指數(shù)加權平均移動控制器

2、使用前一過程的輸出作為輸入，調整控制器參數(shù)來控制本次過程的輸出，其中折扣因子是指數(shù)加權平均移動控制器的一個主要的參數(shù)。在實際生產過程中，一般是在同一生產線生產不同型號產品或者同產品的不同制程，在生產過程中不同的產品之間互相干擾比較明顯，經過若干個某種產品生產之后，機臺參數(shù)發(fā)生了較大的變化，可能導致下一產品輸出收斂速度變慢，波動較大，或者發(fā)散。 本文以實際生產過程中混合產品少量多樣的特點，分別應用基于機臺的控制方法和基于產品的控制