陣列化錳銅薄膜超高壓力傳感器的研究.pdf

1、錳銅計(jì)是一種特種傳感器,主要用于測量沖擊波產(chǎn)生的超高壓力.其量程上限可達(dá)50GPa,是現(xiàn)有傳感器中測壓量程最高的.為滿足國防工程的特殊需要,須進(jìn)一步提高傳感器的量程上限及縮短傳感器的響應(yīng)時(shí)間.該文通過敏感材料和封裝材料的研制、傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及采用新的傳感器制備工藝,研制了一種新型的陣列化的錳銅傳感器,所得到的主要結(jié)論及創(chuàng)新性的結(jié)果可歸納如下:首次采用熔融石英材料作為傳感器的絕緣基板.在絕緣基板上沉積錳銅敏感薄膜.并在敏感薄膜的上面沉

2、積SiO<,2>絕緣封裝層薄膜.上述技術(shù)的主要優(yōu)點(diǎn)在于可以采用高壓絕緣性能更好的無機(jī)物作為絕緣封裝材料,如本研究中所采用的SiO<,2>,而代替在箔式錳銅計(jì)中所使用的PTFE;并可實(shí)現(xiàn)敏感元件"清潔"地?zé)o機(jī)固態(tài)封裝,即將整個(gè)敏感元件是包封在無機(jī)物中,而不與高壓力下絕緣性能相對較差的有機(jī)物,如粘接劑、樹脂等直接接觸,從而在根本上消除了高壓旁路效應(yīng).首次采用以半導(dǎo)體光刻的方法來刻蝕錳銅敏感薄膜和銅電極薄膜的圖形.克服了利用掩模工藝易出現(xiàn)薄膜