氣敏裸片動態(tài)性能參數(shù)測試系統(tǒng)研制.pdf

1、氣體傳感器在投入應(yīng)用之前對其性能指標(biāo)進(jìn)行檢測是氣體傳感器研制過程中必不可少的步驟。半導(dǎo)體氣體傳感器的裸片簡稱為氣敏裸片，是按照特定制備工藝進(jìn)行初步加工但未經(jīng)封裝的敏感體，是半導(dǎo)體氣體傳感器的半成品。雖然沒有經(jīng)過最后封裝，但是氣敏裸片已經(jīng)具備了氣體傳感器的各種基本特性。對氣敏裸片進(jìn)行性能測試，可以有效的控制傳感器研發(fā)成本，提高成品率，有力的推動氣體傳感器的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。但是多年來，氣敏裸片測試設(shè)備研制一直沒有得到足夠的重視。目前，國內(nèi)外尚無

2、技術(shù)較為成熟的該類測試設(shè)備，市場基本處于空白狀態(tài)。 本文結(jié)合課題研究和實(shí)際應(yīng)用的需要，以氣敏裸片為研究對象，研制了一套氣敏裸片動態(tài)性能參數(shù)測試系統(tǒng)。本測試系統(tǒng)選用MSP430單片機(jī)作為I/O和控制模塊的核心器件；采用質(zhì)量流量控制器控制氣體流量；采用智能儀表控制傳感器加熱爐的溫度；采用Modbus通信協(xié)議作為單片機(jī)與計(jì)算機(jī)之間的通信協(xié)議；以MCGS組態(tài)軟件為監(jiān)控系統(tǒng)軟件開發(fā)平臺，利用其驅(qū)動程序和硬件資源，實(shí)現(xiàn)了氣敏裸片性能的動態(tài)測