金屬膨脹式真空自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng).pdf

1、真空技術(shù)是一門(mén)應(yīng)用廣泛的基礎(chǔ)學(xué)科，尤其在電力領(lǐng)域，真空技術(shù)的應(yīng)用覆蓋了從發(fā)電、輸變電、到用電設(shè)備加工制造等各個(gè)方面。在某些應(yīng)用領(lǐng)域，真空測(cè)量的準(zhǔn)確度關(guān)系到真空產(chǎn)品的質(zhì)量及運(yùn)行性能，從而對(duì)真空校準(zhǔn)的范圍及精度提出了更高的要求。 目前真空校準(zhǔn)領(lǐng)域的現(xiàn)狀是自動(dòng)化程度不高，國(guó)內(nèi)還未出現(xiàn)真空自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)，國(guó)際上也很少。隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展及各種電動(dòng)控制工具的出現(xiàn)實(shí)現(xiàn)真空校準(zhǔn)的自動(dòng)化不僅可行而且非常必要了。 本文結(jié)合上海計(jì)量測(cè)試技術(shù)

2、研究院的“低真空校準(zhǔn)裝置的改造”項(xiàng)目，開(kāi)發(fā)了一套金屬膨脹式真空自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)。膨脹法校準(zhǔn)具有制作簡(jiǎn)單、操作方便、校準(zhǔn)效率高的特點(diǎn)，并且在低真空領(lǐng)域具有較高的校準(zhǔn)精度。 本文設(shè)計(jì)了多級(jí)膨脹結(jié)構(gòu)以拓寬膨脹法在高真空區(qū)的校準(zhǔn)范圍，介紹了前級(jí)壓力和氣室體積的測(cè)量方法，討論了影響校準(zhǔn)精度的溫度變化、氣體吸附等干擾效應(yīng)，并提出了解決方案。系統(tǒng)采用了電氣動(dòng)閥門(mén)及帶計(jì)算機(jī)通訊接口的測(cè)量?jī)x表使得自動(dòng)控制成為可能。采用工控機(jī)、PLC(可編程控制器)上