壓電驅動器磁滯補償?shù)哪：刂品椒皯?pdf

1、壓電驅動超精密微位移平臺作為各種現(xiàn)代微電子制造裝備的核心部件，其研發(fā)水平直接影響國家電子信息產(chǎn)業(yè)的技術進步。但是，壓電驅動器固有的磁滯特性，會使系統(tǒng)精度嚴重下降，甚至導致系統(tǒng)閉環(huán)的不穩(wěn)定。因此為了進一步提高超精密機電系統(tǒng)快速運動精度，滿足納米級加工和操作的要求，急需研究磁滯補償控制的理論與方法。
　　本文主要研究了壓電驅動器磁滯補償?shù)哪：刂品椒?，設計了二維并聯(lián)微動平臺，采用了多輸入單輸出的模糊系統(tǒng)對壓電驅動器的磁滯特性建模，構造

2、了xPC Target實時仿真系統(tǒng)，在此基礎上，實現(xiàn)了磁滯補償?shù)哪：_定等效控制實驗。
　　首先，采用復合雙平行直板型柔性鉸鏈機構，設計了具有極低運動耦合度的二維并聯(lián)微動平臺，對其進行了結構優(yōu)化計算和有限元分析，使用電火花線切割加工完成后，實現(xiàn)了相關的測試及實驗驗證。
　　其次，針對壓電驅動器的磁滯特性，提出了一種基于MISO模糊系統(tǒng)的磁滯建模方法，將一維輸入空間中的多值函數(shù)映射為多維輸入空間的單值函數(shù)，有效地解決了磁滯曲線

3、多值映射的問題?；贛atlab7.9軟件，該方法根據(jù)磁滯系統(tǒng)的輸入輸出數(shù)據(jù)，在最大隸屬度、最近鄰居和超半徑概念的基礎上，基于1階T-S型模糊推理對模糊系統(tǒng)進行訓練和參數(shù)優(yōu)化，從而精確的建立了壓電驅動器的磁滯特性模型。
　　然后，應用xPC Target系統(tǒng)構成硬件在回路仿真實時試驗系統(tǒng)，它可以完成壓電驅動器磁滯補償控制系統(tǒng)的快速原形化、硬件在回路中測試等工作。
　　最后，使用模糊確定等效控制器補償壓電驅動器的磁滯特性，對微