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1、中國(guó)締孽敬求大李博士學(xué)位論文圈幽論文題目王型邀當(dāng)叢納壟墨疊垂叢生堂墨壁———————蘭—上L—塹—』∑—————作者姓名郭銳學(xué)科專(zhuān)業(yè)精密儀器與札械導(dǎo)師姓名黃文浩教授徐先凡救授完成時(shí)間二oo八年十JlABSTRACTAsanewtypeoflaserbasedtechnologyfemtosecondlasertwo—photonmicrofabricationhasitsuniquetechnologicaladvantages,lik
2、etruethreedimensionalfabricationabilitysubmicronresolutionandlowheateffecteta1ItbecomesmoreimportantinmicrofabricationtechnologyresearchfieldInthisthesis,supportedbythekeyprojectof“Functionaldevicesmicrofabricationtechno
3、logyviafemtosecondlaser”(No50335050)fromNSFC,thefemtosecondlasermicrofabricationsystemismodifiedandthemechanismoftwophotonpolymerizationinducedbyfemtosecondlaserisstudiedThefabricationparametersareoptimizedthroughthemeth
4、odofcombinationofthetheoryandexperimentresearchAswell,severalfunctionalmicrodevicesaredesigned,fabricatedandmeasuredThemainresearchcontentsarelisted嬲f(shuō)ollowing:1Anintroductionofthehomemadefemtosecondlasermicrofabrications
5、ystemisgivenSomemodificationworkaredonelike400nmfabricationopticalroute,lagerscanningrangestageaswellasthecontrollingsoftware2AfurtherstudyoffemtosecondlasertwophotonmicrofabricationtechniquesisgivenBasedonfreeradicalthe
6、oryoftwophotonpolymerization,thefabricationresolutionaswellasthefabricatedlineandsurfacearestudiedtheoreticallyandexperimentallyConstructedtheMAXandMINmodeltoreconstructthepredesigneddeviceandcontrolthefabricationroughne
7、ssandprecisionDuringtheprocessofthreedimensionalcomplexdevices,thedilationanderosionalgorithmofmathematicalmorphologyareintroducedtoimprovetheprecisionThevariablescanningdistanceaccordingtothedifferentslopeofthedevicespr
8、ofiletoincreasethefabricationprecisionandefficiency3Severalfunctionalmicrodevicesarcdesigned,fabricatedandmeasuredAnewresin,S3,isusedtofabricatehighqualitythreedimensional(3D)log。pilephotoniccrystalwithgoodperformanceint
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