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1、本文對(duì)離子注入光電晶體形成折射率增加型平面和條形光波導(dǎo)進(jìn)行了較為系統(tǒng)的研究。利用棱鏡耦合測(cè)得了光波導(dǎo)的暗模特型,用RCM法擬合了先波導(dǎo)的折射率分布,對(duì)離子注入光電晶體形成折射率增加型光波導(dǎo)的機(jī)理進(jìn)行了初步的討論。本文涉及的光學(xué)材料包括:鈮酸鋰( LINbO3)晶體、鉭酸鋰(LITaO3)晶體、釩酸鈣鋇(CBN)晶體、摻欽的釩酸釔(Nd:YVO4)晶體和磷酸欽氧鈦(RTP)晶體. 本文還研究了利用光刻膠作為掩模,利月多能量氧離子注入
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