太陽能硅片電火花雙線運(yùn)絲結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及切割工藝研究.pdf

1、近年來太陽能電池對大直徑硅片需求的不斷增加，傳統(tǒng)的外圓和內(nèi)圓切割不能滿足現(xiàn)有硅片大尺寸、小切割縫隙、高材料利用率和生產(chǎn)效率的要求；線鋸切割有直接的切削力，切片表面產(chǎn)生切痕，損傷層厚度較大，適合切割的硅片厚度范圍小，而且多線鋸切割成本高，國內(nèi)高檔多線鋸切割機(jī)床基本依賴進(jìn)口。硅片放電切割技術(shù)能夠直接得到大尺寸、超薄硅片，并且不受硅晶體晶向的影響，設(shè)備成本低，切割效率較高，研究和開發(fā)硅片電火花多線切割技術(shù)是一個很有發(fā)展?jié)摿Φ难芯糠较颉?br>

2、　　 本文對現(xiàn)有線切割機(jī)床走絲結(jié)構(gòu)的進(jìn)行詳細(xì)分析，設(shè)計(jì)一種新型的雙線運(yùn)絲結(jié)構(gòu)，并對其內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)設(shè)計(jì)和分析，并進(jìn)行相關(guān)工藝分析，為將來多片硅片電火花線切割機(jī)床的設(shè)計(jì)制造做基礎(chǔ)。
　　 本文利用三維軟件對雙線放電走絲結(jié)構(gòu)進(jìn)行各個零部件的詳細(xì)設(shè)計(jì)，并對其總體結(jié)構(gòu)進(jìn)行裝配分析，提出雙平行放電切割線的原理，并對結(jié)構(gòu)中電極絲張緊力機(jī)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)規(guī)劃，對形成雙平行線的導(dǎo)輪雙線槽結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)設(shè)計(jì)，并根據(jù)試驗(yàn)確定影響硅片厚度的雙線槽的距離。

3、
　　 為了探索雙線走絲機(jī)構(gòu)中雙平行電極絲在機(jī)械運(yùn)絲過程中對硅片切割的影響，本文對切割區(qū)域電極絲進(jìn)行相關(guān)振動理論分析和軟件分析，找到抑制電極絲振動的方法，并利用現(xiàn)有條件，進(jìn)行相關(guān)振動分析試驗(yàn)驗(yàn)證。
　　 找到雙線硅片切割工藝方法并實(shí)現(xiàn)雙片硅片切割是雙線走絲結(jié)構(gòu)的最終目的。但是，由于太陽能電池用硅在實(shí)際放電切割過程中，因?yàn)槠浒雽?dǎo)體性質(zhì)的影響，不能用切割傳統(tǒng)金屬零件的進(jìn)電方式和切割工藝來加工硅碇，因此，本論文需要設(shè)計(jì)一種新的