大口徑光學(xué)元件激光預(yù)處理系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)控制軟件設(shè)計(jì).pdf

1、由于現(xiàn)有加工工藝的不足，光學(xué)元件在加工過(guò)程中，會(huì)在元件表面及亞表面殘留缺陷，這些缺陷的存在對(duì)光學(xué)元件的使用會(huì)造成不可避免的破壞。另一方面，高精密光學(xué)元件在現(xiàn)代工業(yè)領(lǐng)域中的使用范圍是越來(lái)越廣泛，同時(shí)，各工業(yè)領(lǐng)域尤其是高科技領(lǐng)域在使用高精密光學(xué)元件時(shí)，對(duì)光學(xué)元件各項(xiàng)性能的要求也越來(lái)越高。這就出現(xiàn)了矛盾，解決這一矛盾的辦法有兩個(gè)，一是提高光學(xué)元件的加工條件，另一是在光學(xué)元件加工完成后進(jìn)行處理來(lái)提高光學(xué)元件的性能。各項(xiàng)研究表面，光學(xué)元件在進(jìn)行激

2、光預(yù)處理后，其抗損傷閾值得到了顯著的提高。而光學(xué)元件激光預(yù)處理成功有效的關(guān)鍵是運(yùn)動(dòng)速度與運(yùn)動(dòng)精度控制的保證。
　　本文首先通過(guò)研究國(guó)內(nèi)外運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀及發(fā)展方向，為本設(shè)計(jì)設(shè)定運(yùn)動(dòng)控制精度目標(biāo)的可行性及運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)的搭建提供依據(jù)。大口徑激光預(yù)處理系統(tǒng)作為一個(gè)整體，運(yùn)動(dòng)控制模塊在該系統(tǒng)中處于決定系統(tǒng)性能及完善與否的關(guān)鍵位置，在比較不同的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、不同電機(jī)種類的差異、不同絲桿的優(yōu)缺點(diǎn)后，搭建整個(gè)運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)，為運(yùn)動(dòng)速度與運(yùn)動(dòng)