二維納米位移測(cè)量控制方法研究.pdf

1、分類號(hào)：TN219UDC：6815密級(jí)：亙坌五編號(hào)：二維納米位移測(cè)量控制方法研究RESEARCHONCONTROLEDOFMETHOD2DNANOSCALEDDISPLACEMENTMEASURINGSYSTEM學(xué)位授予單位及代碼：量查堡王盔堂!!壘!豎2學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：控制工程(085210)研究方向：當(dāng)電撿型堡迨皇丕筮申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：撞劍王猩童些亟論文起止時(shí)間：201209—201403摘要高精度的位移測(cè)量系統(tǒng)是機(jī)械、儀表、工具、

2、兵器、宇航等產(chǎn)業(yè)獲得位置精度的基礎(chǔ)，也是上述產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品及技術(shù)不斷進(jìn)步的制約因素。隨著科技的高速發(fā)展，人們對(duì)位移測(cè)量的精確度、速度、穩(wěn)定性能以及效率等方面有了更高的要求。本論文提出一種新的方法，本方法主要是通過懸梁臂探針掃描規(guī)則的二維光柵樣品，通過PID前饋和反饋算法以及先進(jìn)的神經(jīng)元算法控制Z軸方向進(jìn)行位移移動(dòng)，對(duì)掃描完成的圖像進(jìn)行提取數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，通過峰值檢測(cè)方法檢測(cè)二維納米光柵的每行以及每列的高低起伏波形的波峰或者波谷的個(gè)數(shù)以及每個(gè)周期