2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、未來航空飛行器要求微型器件具有質量輕、體積小和功耗低等特點,采用MEMS技術制造的由微型器件陣列組成的具有自檢測、自適應控制功能的靈巧蒙皮可以很好地滿足上述要求.因此,基于MEMS技術的靈巧蒙皮研究已成為航空主動氣動控制領域的主要發(fā)展方向之一.該文就以用于實現(xiàn)三角翼邊界層分離點檢測的面向靈巧蒙皮的微型剪應力傳感器為對象展開研究.首先,結合空氣動力學的邊界層原理,針對三角翼邊界層分離點檢測在實現(xiàn)主動氣動控制方面的重要性,討論了光學式、電容

2、式和熱敏式微型剪應力傳感器的測量原理和結構方案,選取適合加工條件的微型剪應力傳感器樣件.在此基礎上對其結構進行設計,并詳細討論梳齒電容式微型剪應力傳感器的微細加工工藝流程,選擇了符合微型剪應力傳感器工作要求的薄膜材料.然后利用有限元分析軟件ANSYS對梳齒電容式微型剪應力傳感器的質量塊模型進行結構和流體耦合分析,得到梳齒質量塊結構的應力分布和位移分布云圖.最后,對熱敏式微型剪應力傳感器進行結構設計,并對復雜表面微細加工工藝進行修改和簡化

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