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1、 本文在閱讀國內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，利用實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有條件，對基于非硅基微加工技術(shù)的光開關(guān)及可調(diào)光衰減器的設(shè)計(jì)、制作進(jìn)行了分析探討和深入研究。 本文介紹了全光通信與光無源器件的背景情況，研制開發(fā)了一種全金屬化非硅基底可擴(kuò)展1×8微加工型光開關(guān)；應(yīng)用有限元方法進(jìn)行了器件開關(guān)時(shí)間的理論分析，器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)，并給出樣品的實(shí)測結(jié)果；設(shè)計(jì)制作了數(shù)字化高速可調(diào)光衰減器是基于微加工驅(qū)動(dòng)器的透射微鏡陣列，此方案結(jié)構(gòu)獨(dú)特，能在小于2ms的短時(shí)間里實(shí)
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