微納特征結(jié)構評價與表面表征方法研究.pdf

1、隨著超精密加工技術加工精度的不斷提高和微電子器件、MEMS制造尺寸的不斷減小，納米加工技術應時而生。計量技術與工業(yè)生產(chǎn)技術從來都是互相促進、相互提高的，納米計量技術也因此得到了飛速發(fā)展。
　　 針對超精密加工中對典型特征尺寸和微觀表面形貌的測量需求，本課題開展了微納特征結(jié)構評價與表面表征方法方面的研究，主要工作內(nèi)容如下：
　　 1.通過對國內(nèi)外典型特征尺寸和微觀表面形貌的測量技術和方法的充分調(diào)研，尋求各種方法之間的關系，

2、在實驗中采用了原子力顯微術、相移掃描干涉技術和白光掃描干涉技術。
　　 2.研究分析了微納特征結(jié)構的評價原理，主要對臺階、柵距和線寬等微納結(jié)構的評價算法進行了分析，并使用MATLAB編寫了評價程序。應用多種方法對臺階、柵格結(jié)構進行測量，利用MATLAB編寫評價程序?qū)y量數(shù)據(jù)進行評價計算，驗證了各個評價算法的可行性和可靠性；建立線寬結(jié)構的評價模型和算法，對線寬結(jié)構進行多組仿真，驗證所建線寬模型和評價算法的可行性。
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