低壓永磁同步電機(jī)驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)與研制.pdf

1、真空機(jī)械手負(fù)責(zé)在集束型整機(jī)設(shè)備各個(gè)工藝腔室之間傳輸晶圓，是集束型設(shè)備的核心部件之一。真空機(jī)械手采用低壓大間隙直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，對(duì)驅(qū)動(dòng)器的接口和性能有特殊的要求，普通商用驅(qū)動(dòng)單元難以滿足其要求。自行設(shè)計(jì)高性能的電機(jī)驅(qū)動(dòng)器對(duì)真空機(jī)械手的運(yùn)行平穩(wěn)性和可靠性具有重要的意義。本文以低壓大間隙直驅(qū)電機(jī)為控制對(duì)象，針對(duì)其驅(qū)動(dòng)特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了一款低壓永磁同步電機(jī)的伺服驅(qū)動(dòng)器。首先建立了永磁同步電機(jī)的數(shù)學(xué)模型，以直軸電流id=0為控制策略、SVPWM矢量控制為驅(qū)

2、動(dòng)方式確立了驅(qū)動(dòng)器系統(tǒng)的總體方案。其次以高性能數(shù)字控制器DSP為核心，實(shí)現(xiàn)了多路開關(guān)電源模塊、三相逆變器模塊、線電流檢測模塊、轉(zhuǎn)子位置檢測模塊、通訊模塊等硬件電路設(shè)計(jì)，驅(qū)動(dòng)器同時(shí)具有防浪涌啟動(dòng)電路、過壓過流保護(hù)和泄放電路等保護(hù)電路。驅(qū)動(dòng)器軟件實(shí)現(xiàn)上，采用模塊化的設(shè)計(jì)方法，編寫通訊程序、轉(zhuǎn)子位置檢測程序、轉(zhuǎn)子位置初始化程序、PID調(diào)節(jié)器程序、SVPWM矢量控制程序等功能模塊，實(shí)現(xiàn)電流環(huán)內(nèi)環(huán)，速度環(huán)外環(huán)的雙閉環(huán)矢量控制系統(tǒng)。基于系統(tǒng)總體方案