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文檔簡介
1、聲表面波(SAW，SurfaceAcousticWave)氣體傳感器由于其高靈敏度，易于攜帶等獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)越來越受到人們的關(guān)注。評價(jià)一個(gè)SAW氣體傳感器的好壞主要從兩個(gè)方面：SAW器件及檢測電路。因?yàn)镾AW器件的中心頻率決定著檢測氣體的靈敏度，SAW器件的插損數(shù)值的大小關(guān)系著器件能否起振；檢測電路又關(guān)系到傳感器的精度和穩(wěn)定度。所以對二者的研究都有重要意義。
本文首先介紹如何設(shè)計(jì)制作中心頻率為120MHz的延遲線型SAW器件，
2、然后通過對各檢測法進(jìn)行比較，最終選擇了受環(huán)境因素影響小的頻率檢測法來設(shè)計(jì)檢測電路。
對于器件的設(shè)計(jì)，采用雙延遲線結(jié)構(gòu)，并用耦合模(COM)理論進(jìn)行了分析，推導(dǎo)了整個(gè)單相單向換能器的混合矩陣（P矩陣），最終結(jié)合等效電路模型得到器件的幅頻及相頻響應(yīng)等。在器件的制作方面，采用了鋁犧牲層工藝。
為了消除環(huán)境影響，在電路設(shè)計(jì)方面，主要采用頻率檢測的方法，這種方法是將器件的兩個(gè)通道（參比通道及敏感通道）產(chǎn)生的頻率信號(hào)作混
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