適用高頻SAW射頻標(biāo)簽的諧振器與天線設(shè)計.pdf

1、聲表面波射頻標(biāo)簽(SAW-RFID)應(yīng)用很廣泛,在現(xiàn)代的電子學(xué)、聲學(xué)、半導(dǎo)體微電子工藝技術(shù)和雷達(dá)信號處理技術(shù)等一些新成就和新領(lǐng)域當(dāng)中都已應(yīng)用,聲表面波射頻標(biāo)簽已是現(xiàn)在社會自動識別技術(shù)領(lǐng)域和息存儲傳輸技術(shù)領(lǐng)域的重要器件。在眾多的射頻識別系統(tǒng)中,與集成電路(IC)的RFID識別相比,利用盧表面波(SAW)技術(shù)有很多自己獨(dú)特的優(yōu)勢。利用聲表面波(SAW)技術(shù)的主要優(yōu)點(diǎn)有很灶的抗電磁干擾能力,并且可使用在金屬和液體產(chǎn)品上;具有抗高溫、抗輻射等獨(dú)

2、特優(yōu)點(diǎn),可以使聲表面波射頻標(biāo)簽應(yīng)用在食品或藥品等需要高能量X-射線或伽馬射線殺菌產(chǎn)品上;因?yàn)镾AW射頻標(biāo)簽是無源器件,所以不使用任何外界的電源,而且同時對閱讀器的輻射功率要求低,SAW射頻標(biāo)簽所需的閱讀器輻射功率僅僅是傳統(tǒng)IC標(biāo)簽的1/100;并且具有識別和傳感的雙重功能等優(yōu)勢。
　　 本文內(nèi)容包括SAW-RFID標(biāo)簽的發(fā)展歷程,標(biāo)簽的組成和工作原理,制作了應(yīng)用于聲表面波射頻標(biāo)簽的IDT/ZnO/金屬層/金剛石多層膜結(jié)構(gòu)單端口諧

3、振器。聲表而波諧振器有比較窄的帶寬,高Q值和低插入損耗,因此以聲表面波諧振器為核心的標(biāo)簽有噪聲小,插入損耗小的優(yōu)點(diǎn)。采用半導(dǎo)體參數(shù)儀對單端口諧振器的靜態(tài)電容和端口電阻兩個物理量進(jìn)行了測量,分別為50.1914pf和48.7Ω,根據(jù)測試物理量和匹配值為50Ω的天線進(jìn)行匹配,并且設(shè)計了彎折偶極子天線,并與傳統(tǒng)天線進(jìn)行了對比,其增益和有效帶寬都明顯增高。在theta=3度時,彎折偶極子天線的增益要比傳統(tǒng)的天線增益0.029增大了6.6倍,SA