基于C-MEMS工藝的微結構間碳懸浮結構制造與測試.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微懸浮結構因可以有效地避免與基底之間的相互影響及熱傳遞，并增大與周圍環(huán)境的接觸面積，而在MEMS領域中擁有廣泛的需求。
　　在C-MEMS工藝基礎之上，提出了一種在微結構之間制造碳懸浮結構的方法。設計形狀與微結構位置相適應的掩膜板；利用套刻工藝將掩膜板位置與微結構位置對應起來，利用光刻過程中掩膜板導致的衍射效應，通過控制曝光時間，則可在生成SU-8膠懸浮結構的同時將其與底部微結構結合起來；通過熱解，SU-8膠懸浮結構轉變?yōu)樘紤腋〗Y

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