MOEMS光開關(guān)陣列芯片的研究.pdf

1、快速發(fā)展的光通信技術(shù)促使全光通信網(wǎng)絡(luò)浮出水面，全光網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展依賴于光開關(guān)技術(shù)的進(jìn)步。過去幾年間，各種各樣的技術(shù)被用于光開關(guān)的研究。和其他技術(shù)相比，MOEMS光開關(guān)技術(shù)顯示了無法比擬的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。因此基于MOEMS技術(shù)的光開關(guān)將成為下一代全光通信網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵光器件。 首先，從光開關(guān)在全光網(wǎng)絡(luò)的應(yīng)用出發(fā)，比較了各種光開關(guān)技術(shù)的性能。基于MOEMS技術(shù)的光開關(guān)和其他技術(shù)類型的光開關(guān)相比顯然具有更多的優(yōu)良性能，例如波長(zhǎng)透明和偏振無關(guān)等。敘述

2、了國(guó)內(nèi)外目前為止MOEMS光開關(guān)技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀。提出了一種基于靜電驅(qū)動(dòng)和垂直微反射鏡技術(shù)的MOEMS光開關(guān)。 其次，分析了光開關(guān)微反射鏡的反射特性，然后推導(dǎo)了歸一化的光開關(guān)靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)力矩平衡特性方程。另外，討論了各個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)驅(qū)動(dòng)電壓的影響。隨后，計(jì)算了光開關(guān)的固有頻率，并且分析了光開關(guān)的開關(guān)速度。第三，使用MSCPatran有限元軟件對(duì)靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了建模，并利用有限元分析了各部分的應(yīng)力分布，對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行了可靠性