高像質(zhì)非晶硅薄膜晶體管液晶顯示器的研究.pdf

1、非晶硅薄膜晶體管液顯示器(a-Si TFT-LCD)現(xiàn)已成為筆記本電腦、液晶電視等高像質(zhì)顯示終端的主導(dǎo)技術(shù),目前,它的制造技術(shù)在國外已比較成熟,國內(nèi)比較落后,特別在大尺寸、成品率和顯示性能方面落后更多.該文根據(jù)國內(nèi)的現(xiàn)有技術(shù)水平,側(cè)重高成品率和高顯示性能a-Si TFT-LCD器件的設(shè)計(jì)和制備.主要工作包括高光電性能a-Si TFT功能膜的制備、高成品率高顯示性能a-Si TFT陣列的設(shè)計(jì)與制備、高成品率高顯示性能a-Si TFT-LC

2、D器件的設(shè)計(jì)與制備等.用a-Si TFT作為開關(guān)元件的a-Si TFT-LCD,是利用a-Si TFT的開態(tài)對像素電容快速充電來實(shí)現(xiàn)對信號的響應(yīng),利用a-Si TFT的關(guān)態(tài)保持像素電容上的電荷來完成對信號的存儲,a-Si TFT起到消除行間串?dāng)_和對電荷的高保持作用.a-Si TFT由多層材料、厚度及性能不同的功能膜組成,該文用濺射法制備ITO和Al/Cr薄膜,用PECVD法制備SiNx、a-Si和n<'+>a-Si薄膜,利用H處理提高a