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1、當(dāng)前半導(dǎo)體工業(yè)的需求是更微細(xì)更高密度的加工,微米納米加工技術(shù)的極限一再被突破,設(shè)備和加工工藝的費(fèi)用也不斷提高.為了降低費(fèi)用并且適應(yīng)器件制備的需要,人們對(duì)光刻以外的方法給予了很大的關(guān)注,比如近些年出現(xiàn)的軟刻蝕、納米壓印、通過高分子自組裝制備微納結(jié)構(gòu)等技術(shù)……在這些新興工藝中,軟刻蝕是很有特色的一種,應(yīng)該引起中國學(xué)者的關(guān)注.在該博士論文中,將軟刻蝕這種微制造新方法和材料學(xué)結(jié)合起來,制備功能性的材料微結(jié)構(gòu).同時(shí)我們也論述了高分子的熱微模塑微結(jié)
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