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1、近年來(lái),隨著石英晶體在電子技術(shù)領(lǐng)域越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,我國(guó)石英晶體行業(yè)迅速發(fā)展,但用于晶體生產(chǎn)過(guò)程中的高精度頻率監(jiān)控設(shè)備基本上依賴(lài)進(jìn)口,且價(jià)格昂貴,這與國(guó)內(nèi)晶體制造業(yè)對(duì)高精度頻率監(jiān)控設(shè)備不斷增長(zhǎng)的需求相矛盾,大大制約了國(guó)內(nèi)晶體制造業(yè)的發(fā)展.本文闡述了一種基于DSP的新型頻率監(jiān)控系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)研究,該系統(tǒng)能在線檢測(cè)石英晶片在研磨過(guò)程中的不斷變化的頻率,自動(dòng)控制晶片研磨厚度.以往的進(jìn)口頻率測(cè)控儀器都采用低速8位單片機(jī)作為控制核心,本系統(tǒng)首次采用數(shù)
2、字信號(hào)處理器DSP代替單片機(jī)為控制核心,同時(shí),應(yīng)用了PLL鎖相環(huán)構(gòu)成掃描頻率信號(hào)源.DSP芯片選用C2000系列的TMS320F240,主要完成頻率響應(yīng)信號(hào)的采集、頻率測(cè)試和過(guò)程監(jiān)控邏輯信號(hào)的產(chǎn)生、晶片頻率及頻差的計(jì)算、頻率設(shè)定和顯示、人機(jī)接口信號(hào)處理等任務(wù);PLL鎖相環(huán)路部分主要由鑒相器、環(huán)路濾波器、電壓控制振蕩器構(gòu)成,產(chǎn)生穩(wěn)定連續(xù)的頻率掃描信號(hào),它是本系統(tǒng)的關(guān)鍵電路.論文首先在系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中介紹了DSP芯片、鎖相環(huán)技術(shù)及可編程邏
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