多通道高精度集成電路直流參數(shù)測(cè)試.pdf

1、集成電路是當(dāng)今三大信息產(chǎn)業(yè)之一，集成電路的飛速發(fā)展必然帶動(dòng)集成電路測(cè)試裝置的不斷更新，從而降低集成電路生產(chǎn)成本，提高IC生產(chǎn)效益。集成電路測(cè)試是保障芯片內(nèi)部電路質(zhì)量的主要測(cè)試手段，集成電路測(cè)試已經(jīng)受到許多國(guó)家的高度重視，因此研究集成電路測(cè)試具有非常重要的實(shí)際意義。
　　 論文出于實(shí)際應(yīng)用設(shè)計(jì)了集成電路測(cè)試儀，介紹了多通道集成電路測(cè)試板的設(shè)計(jì)與研究。本設(shè)計(jì)主要針對(duì)中小規(guī)模集成電路的測(cè)試。論文首先闡述了課題研究背景，從實(shí)際應(yīng)用需求角

2、度出發(fā)設(shè)計(jì)了集成電路測(cè)試儀。進(jìn)而對(duì)國(guó)內(nèi)外發(fā)展情況進(jìn)行了詳細(xì)的分析，探究國(guó)內(nèi)外集成電路測(cè)試裝置的研發(fā)成果，集成電路測(cè)試儀分別有低檔中檔高檔三個(gè)檔次，不同檔次的測(cè)試儀的測(cè)試對(duì)象不相同。國(guó)內(nèi)主要是中小規(guī)模的集成電路測(cè)試儀的研發(fā)和設(shè)計(jì)，對(duì)于大規(guī)模的超大規(guī)模的集成電路測(cè)試系統(tǒng)的研究與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家的技術(shù)水平相比差距比較大，國(guó)內(nèi)IC生產(chǎn)企業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路的測(cè)試仍然依靠國(guó)外進(jìn)口測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試，大大增加了生產(chǎn)成本，不利于國(guó)內(nèi)集成電路行業(yè)的發(fā)展，亟需研究

3、出高速、低功耗、高性價(jià)比的集成電路測(cè)試系統(tǒng)，用以改變當(dāng)前測(cè)試系統(tǒng)匱乏的局面。
　　 隨著IC器件集成度的不斷提高，芯片管腳數(shù)目也越來(lái)越多，測(cè)試速度也要求越來(lái)越高。以往的逐個(gè)引腳測(cè)試已經(jīng)不能適應(yīng)集成電路的高速發(fā)展，多個(gè)引腳、多個(gè)站點(diǎn)同時(shí)測(cè)量成為測(cè)試系統(tǒng)必須具備的基本功能。本文中設(shè)計(jì)的多個(gè)獨(dú)立通道同時(shí)施加測(cè)量，采用了AD公司最新研制的四單元PMU芯片AD5522，內(nèi)部有四個(gè)可編程電流量程，每個(gè)通道都包含電壓和電流箝位功能，一個(gè)窗口比