LTCC集總參數濾波器的設計與關鍵工藝分析.pdf

1、低溫共燒陶瓷(low temprature co_fired ceramic,LTCC)技術是一種立體、多層的布線技術，可靈活設計電感、電容元件，減小元件空間，已成為無線通訊系統與現代裝備技術中更具影響力與競爭力的技術之一。LTCC LC濾波器相對于傳統的集總參數濾波器，不但可集成在多芯片組件基板內，而且能制作成0805、0603等表面貼裝(SMD)形式，能在很大程度上提高電子系統的集成度、可靠性等。
　　本文是在了解現有工藝平臺

2、的基礎上，利用集總參數元件進行濾波器的設計。首先采用網絡綜合法綜合出等效電路模型，使用Ansoft Designer與ADS軟件對等效電路模型進行了仿真，采用三維電磁場仿真軟件HFSS建立了電容電感的三維模型，并提取出其有效元件值。對濾波器中幾種常用的電容電感元件的物理模型進行了掃描分析，給出了某些敏感尺寸對元件有效值、Q值的影響趨勢?；趯蝹€分立元件研究的基礎，在HFSS中進行了濾波器的整體布局，完成了濾波器物理模型的建立，并對其進

3、行了仿真，仿真結果滿足技術指標要求。
　　本文對LTCC技術中的某些關鍵工藝進行了分析，對影響濾波器性能的部分敏感參數進行了探討，并將這些敏感參數反饋到設計中去，優(yōu)化濾波器的設計。
　　經低溫共燒陶瓷(LTCC)工藝線制作出了兩款截止頻率分別為195MHz和260MHz的LTCC九階LC低通濾波器和兩款中心頻率分別為1050MHz、1950MHz，通帶寬度為500MHz和900MHz的LTCC五階LC帶通濾波器。成品經矢量網