雙層結構紅外焦平面陣列的設計與制備.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩72頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、微測輻射熱計型非制冷紅外探測器由于其便攜性好、成本低和卓越的性能等優(yōu)點，近年來成為紅外探測器研究中的熱點。然而，傳統(tǒng)單犧牲層器件填充率的提高和器件的熱學性能的提升有所沖突，影響了器件性能的提升。雙犧牲層微測輻射熱計是一種改進型結構，它可以改善這種沖突，更好地實現(xiàn)器件小型化大陣列器件的需要。
　　本文針對雙犧牲層微測輻射熱計進行研究，通過Intellisuite軟件對雙犧牲層紅外焦平面陣列進行了設計及力學仿真。確定了器件制備工藝流程

2、，并繪制了工藝過程中各項版圖。分析了不同結構、不同工藝參數(shù)對器件力學性能的影響，分別就“傘”狀結構、“奇點”和改進型“傘”狀結構的引入，橋面厚度、橋腿寬度和薄膜殘余應力的改變進行了仿真。
　　論文探索了犧牲層的制備工藝，得到了一個較優(yōu)的工藝參數(shù)，包括聚酰亞胺厚度、亞胺化條件和釋放工藝。制備了結構簡化的雙犧牲層支撐結構陣列，該結構簡化了其它材料而僅僅包含了氮化硅的支撐。制備了結構完整的單犧牲層和雙犧牲層紅外焦平面陣列。
　　對

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論