電解電火花復(fù)合加工在微細(xì)加工中的應(yīng)用研究.pdf

1、玻璃、陶瓷等脆性非導(dǎo)電材料具有超硬、耐磨、電阻率高、導(dǎo)熱性能好等特點，在MEMS中的應(yīng)用越來越廣泛。電解電火花復(fù)合加工作為一種特種加工工藝，可以在不接觸的情況下去除工件材料，沒有宏觀的切削力，加工脆性非導(dǎo)電材料可以獲得較高的表面質(zhì)量。本文主要研究了電解電火花復(fù)合加工方法的加工機理，通過微結(jié)構(gòu)加工實驗分析該方法加工硬脆非導(dǎo)電材料的可行性。主要研究內(nèi)容如下：
　　（1）介紹電解電火花復(fù)合加工的原理、特點，根據(jù)電解電火花復(fù)合加工的加工機

2、理，設(shè)計具體的實驗方案，主要包括基礎(chǔ)工藝實驗和銑削工藝實驗。
　?。?）針對實驗設(shè)計方案搭建實驗平臺，完成了工作臺的連接和調(diào)試，控制系統(tǒng)的設(shè)計和控制軟件的編程，電極夾具和工件夾具的設(shè)計與制作等。
　?。?）針對不同加工電壓、工作液濃度和工具材料設(shè)計工藝實驗方案，通過對打孔實驗結(jié)果的分析，研究電解電火花復(fù)合加工脆性非導(dǎo)電材料的加工機理；通過不同條件下的實驗結(jié)果分析得出加工電壓、工作液濃度和電極材料對加工表面質(zhì)量和加工效率的影響