靶材粘結(jié)和超聲波檢測(cè)技術(shù)在液晶鍍膜中的應(yīng)用.pdf

1、液晶行業(yè)廣泛使用的濺射鍍膜用材料靶材在濺射時(shí)需要有背板的支撐，而靶材與背板的結(jié)合是否結(jié)實(shí)可靠則非常重要，如果粘結(jié)層的性能不能達(dá)到要求則很容易造成濺射過(guò)程中的“脫靶”，從而導(dǎo)致濺射鍍膜失敗。所謂靶材粘結(jié)就是將靶材、背板用粘結(jié)材料粘結(jié)在一起的過(guò)程。本文通過(guò)行業(yè)中最常用的鋁靶，無(wú)氧銅背板，采用次貴金屬銦作為粘結(jié)材料，設(shè)計(jì)了G5代鋁靶的粘結(jié)工藝流程。課題主要研究了粘結(jié)工藝中時(shí)間、溫度、材料性能三者之間的關(guān)系，并通過(guò)超聲波探傷儀對(duì)粘結(jié)產(chǎn)品進(jìn)行了內(nèi)

2、部探傷檢測(cè)，以證實(shí)所設(shè)計(jì)工藝的可行性和可靠性。
　　 利用大型反轉(zhuǎn)裝置，高溫加熱臺(tái)進(jìn)行了1431×1700×12mm鋁靶的粘結(jié)實(shí)驗(yàn)，研究了加熱時(shí)間和相關(guān)參數(shù)的設(shè)置，對(duì)于粘結(jié)質(zhì)量影響較大的表面氧化物的處理，以及為了提高粘結(jié)層質(zhì)量而設(shè)置的超聲波振蕩器的應(yīng)用。并利用墊具、C型卡扣對(duì)粘結(jié)后的靶材進(jìn)行平面度修正。
　　 利用超聲波探傷儀對(duì)粘結(jié)靶材的有效結(jié)合面、四分品的有效結(jié)合面以及單個(gè)缺陷進(jìn)行檢測(cè)，各項(xiàng)參數(shù)均符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求。