高純硒化氫合成工藝研究.pdf

1、硒化氫是一種非常重要的電子氣，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。作為生產(chǎn)半導(dǎo)體材料的重要原材料和還原氣，硒化氫主要應(yīng)用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件，能夠在半導(dǎo)體表面形成P-N保護(hù)層和隔離層。高純硒化氫在國(guó)防尖端和航天航空等領(lǐng)域有著非常重要的用途。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)的快速發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)硒化氫氣體的需求越來越大，推動(dòng)了科研人員對(duì)硒化氫合成技術(shù)的研究熱情。根據(jù)國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)資料的報(bào)道，目前硒化氫制備的方法主要有兩種，其一是通過金屬硒化物與水發(fā)生分解反應(yīng)來制備硒化氫。第二種

2、方法是通過高純氫和硒在250至570℃時(shí)直接化合而得。第二種方法中570℃時(shí)硒化氫的產(chǎn)量為最大（超過50％）。
　　本輪文通采用第二種技術(shù)路線，即通過高純氫和硒在高溫下直接合成，設(shè)計(jì)了硒化氫合成裝置和尾氣處理系統(tǒng)，保證了生產(chǎn)過程中的操作安全和環(huán)境安全，實(shí)現(xiàn)了高純度硒化氫的工業(yè)規(guī)模生產(chǎn)。
　　對(duì)合成的硒化氫氣體進(jìn)行了脈沖放電氦電離色譜，火焰光度檢測(cè)器色譜儀，氫火焰光度檢測(cè)器色譜，微量水的檢測(cè)等多種儀器技術(shù)分析，得到了硒化氫的產(chǎn)