渦旋無油真空泵設(shè)計理論及加工工藝的研究.pdf

1、半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展迫切要求提供清潔無油的真空環(huán)境,渦旋真空泵以其清潔度高、結(jié)構(gòu)簡單、體積小、噪音低等優(yōu)點,在無油真空獲得方面獨受青睞.在歐美和日本等發(fā)達(dá)國家,渦旋無油真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來越多的代替了油封式機械泵.但由于中國使用的渦旋泵主要依靠進(jìn)口,價格昂貴,所以應(yīng)用并不是很多.該文旨在使渦旋無油真空泵在中國實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,為新興工業(yè)的發(fā)展提供清潔的真空環(huán)境.在渦旋泵的設(shè)計方面,該文首先建立了實用有效的渦旋真空泵理論抽速數(shù)學(xué)模型,推導(dǎo)出其設(shè)

2、計公式,給出了基本幾何參數(shù)的選擇方法,開發(fā)了繪制渦旋型線的通用CAD程序.該文討論了影響渦旋真空泵加工精度的主要因素,并在此基礎(chǔ)上選擇數(shù)控加工方法,利用自主編制的加工程序,在美國產(chǎn)Bosto Matic18立式加工中心上加工出符合精度要求的渦旋盤.為了改善渦旋盤的表面性能,研究了對鋁合金渦旋盤進(jìn)行硬質(zhì)氧化和噴涂聚四氟乙烯薄膜的工藝,有效的提高了渦旋盤表面的硬度和耐腐蝕性,減小了其表面的摩擦系數(shù).對渦旋真空泵重要間隙與極限真空度的關(guān)系進(jìn)行