基于頻閃測(cè)量方式的平面微運(yùn)動(dòng)測(cè)試系統(tǒng).pdf

1、本文首先介紹了MEMS發(fā)展概況以及相關(guān)微器件運(yùn)動(dòng)特性測(cè)試技術(shù)。針對(duì)微結(jié)構(gòu)周期運(yùn)動(dòng)測(cè)試的要求，設(shè)計(jì)了一種基于頻閃測(cè)量方式的平面微運(yùn)動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)。
　　 論文首先對(duì)頻閃成像技術(shù)及其在微結(jié)構(gòu)周期運(yùn)動(dòng)測(cè)試中的應(yīng)用進(jìn)行了分析，確定了頻閃照明、運(yùn)動(dòng)激勵(lì)信號(hào)的控制時(shí)序、頻率、幅度等技術(shù)指標(biāo)，提出了基于頻閃測(cè)量方式的平面微運(yùn)動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)方案。
　　 根據(jù)設(shè)計(jì)方案完成了基于頻閃測(cè)量方式的平面微運(yùn)動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的硬件電路設(shè)計(jì)，使用直接數(shù)字

2、合成技術(shù)生成高精度高頻脈沖信號(hào)，并對(duì)頻閃控制信號(hào)精確移相，滿足了物體不同運(yùn)動(dòng)相位的照明和成像的要求，選擇FPGA作為AD9912芯片的控制器，降低了系統(tǒng)延時(shí)誤差，保證AD9912的高速響應(yīng)控制。設(shè)計(jì)了低通橢圓濾波器，提高了信號(hào)的頻譜純度。設(shè)計(jì)了板上控制模塊和PC機(jī)軟件控制模塊，能夠方便地通過(guò)任一模塊實(shí)現(xiàn)參數(shù)設(shè)置，該系統(tǒng)通過(guò)USB接口與PC機(jī)進(jìn)行通訊，通過(guò)PC機(jī)或板上控制系統(tǒng)設(shè)置工作參數(shù)，生成1路頻閃照明脈沖控制信號(hào)。采用模塊化設(shè)計(jì)思想完