光柵莫爾條紋干涉計量及其應(yīng)用研究.pdf

1、目前，以莫爾條紋技術(shù)為基礎(chǔ)的光柵線性位移傳感器發(fā)展十分迅速，光柵長度測量系統(tǒng)的分辨率達(dá)到納米級，測量精度已達(dá)0.1um，已成為位移測量領(lǐng)域各工業(yè)化國家競爭的關(guān)鍵技術(shù)。它的應(yīng)用非常廣泛，幾乎滲透到社會科學(xué)中的各個領(lǐng)域，如機(jī)床行業(yè)、計量測試部門、航空航天航海、科研教育以及國防等各個行業(yè)部門。
　　 本文首先詳細(xì)闡述了莫爾條紋的形成機(jī)理，當(dāng)計量光柵為粗光柵時，莫爾條紋形成機(jī)理用遮光陰影原理解釋，當(dāng)計量光柵為細(xì)光柵時，則用衍射干涉原理解

2、釋。然后系統(tǒng)介紹了基于莫爾條紋技術(shù)的光電測量儀器的設(shè)計原理，它由光柵讀數(shù)頭和對莫爾條紋信號進(jìn)行處理的電子學(xué)部分組成，光柵讀數(shù)頭包括光柵副，光電接收元件，由光源和準(zhǔn)直鏡組成的照明系統(tǒng)，以及必要的光闌、接收狹縫、調(diào)整機(jī)構(gòu)等。最后提出了基于光柵莫爾條紋干涉計量技術(shù)的一種新的應(yīng)用，即把光柵線性位移傳感器應(yīng)用在數(shù)字讀數(shù)顯微鏡上，數(shù)字讀數(shù)顯微鏡包括光學(xué)系統(tǒng)、控制與顯示系統(tǒng)、CCD攝像機(jī)與顯示器四部分，其中，控制與顯示系統(tǒng)是設(shè)計的核心模塊，是基于FP