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1、論文首先對(duì)微機(jī)械諧振器的研究現(xiàn)狀進(jìn)行了綜述,總結(jié)了微機(jī)械諧振器在加速度傳感器、微光機(jī)械諧振器的研究現(xiàn)狀進(jìn)行了綜述,總結(jié)了微機(jī)械諧振器在加速度傳感器、微光機(jī)電系統(tǒng)、無(wú)線通訊和微機(jī)械陀螺等領(lǐng)域的應(yīng)用的最新進(jìn)展.其次,運(yùn)用結(jié)構(gòu)振動(dòng)理論分析了三種不同激勵(lì)方式的微諧振器:靜電激勵(lì)、電致熱激勵(lì)和光激勵(lì)微諧振器的工作機(jī)理,描述了其諧振特性,進(jìn)行了工藝制作和詳細(xì)的頻率特性實(shí)驗(yàn)測(cè)試,對(duì)三種微諧振器的性能有了詳細(xì)的了解.然后在掌握諧振特性的基礎(chǔ)上開(kāi)展了微諧
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