大容量多重化DC-DC多晶硅電源的研究.pdf

1、多晶硅還原爐用多重化DC-DC斬波加熱電源具有功率因數(shù)高、效率高、穩(wěn)壓穩(wěn)流精度高、功率密度大等優(yōu)點。目前國內(nèi)大部分多晶硅還原爐用電源為交流調(diào)壓電源或可控硅整流電源，存在控制線路復(fù)雜、電源精度低、整機體積大等問題。因此對該電源的研究能夠有效的解決國內(nèi)多晶硅電源存在的問題。
　　本文首先闡述了多晶硅電源的研究背景、國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，然后介紹了多晶硅電源的系統(tǒng)設(shè)計方案及工作原理。
　　其次重點介紹了斬波變換器的驅(qū)動電路和軟

2、件控制部分。采用了三重化斬波技術(shù)，提高了等效開關(guān)頻率（大于20KHz），有效的減小了濾波元件（LC）的體積和重量，電源紋波系數(shù)小于1％。多重化斬波電路的各個基本單元斬波變換電路具有互為備用的功能，提高了變換器總體可靠性。采用以DSP為核心的智能控制技術(shù)，實現(xiàn)了三重化DC-DC變換器PWM算法，提高了電源的控制精度，使穩(wěn)壓穩(wěn)流精度小于±0.5%，調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確度小于0.5%。此外大功率器件在工作過程中有較大的損耗,器件的溫度會升高，若不采取冷