2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、射頻開關是射頻通信網(wǎng)絡中最基本的器件之一,該文提出了一種新型基于硅襯底的新型射頻微機械開關,介紹了射頻微機械開關的設計原理和器件結構,提出了器件的近似力學分析模型,分析和優(yōu)化器件的插入損耗和驅動電壓參數(shù),介紹了器件的制作工藝,最后給出器件的測試結果.具體內(nèi)容包括:介紹了各種射頻微機械器件,特別是射頻微機械開關.通過與其他傳統(tǒng)射頻開關的比較,總結了射頻微機械開關具有結構簡單、插入損耗小、工藝容差大、有利于降低成本和提高成品率等優(yōu)勢.基于此

2、,我們在設計中采用了靜電驅動式射頻微機械開關結構.詳細分析了插入損耗與器件結構的關系,在此基礎上提出了新型的射頻傳輸線基于可動膜射頻微機械開關的結構.通過大幅度的減少射頻傳輸線的陳底厚度,可以達到降低插入損耗的目的.為了實現(xiàn)射頻傳輸線的薄襯底結構,根據(jù)共面波導的設計思想,設計了腔體式共面波導型射頻微機械開關.給出了器件制作的完整的工藝流程,重點介紹了犧牲層的填充以及平整化等器件制作的關鍵微機械表面加工工藝,并根據(jù)射頻微機械開關的特殊要求

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