數(shù)字圖象處理技術(shù)在平面等傾干涉測(cè)量中的應(yīng)用.pdf

1、在等傾干涉測(cè)量中，不斷變化的明暗相交的圓環(huán)形干涉條紋，反映了被測(cè)件的平面度信息，因此對(duì)干涉條紋的變化進(jìn)行記錄和分析顯得至關(guān)重要。但是由于傳統(tǒng)測(cè)試系統(tǒng)的局限性，使得使用平面等傾干涉儀進(jìn)行測(cè)量的過(guò)程煩瑣，從而導(dǎo)致效率低下，而且測(cè)量精度不高。隨著近代電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)的發(fā)展，把新興的圖像傳感技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制和數(shù)字圖像處理技術(shù)相結(jié)合是新一代自動(dòng)化、高精度、高效率等傾干涉測(cè)試系統(tǒng)的最佳解決方案。 本課題主要研究了應(yīng)用數(shù)字圖像處理

2、技術(shù)對(duì)等傾干涉測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)。該系統(tǒng)利用CCD攝像機(jī)實(shí)時(shí)獲取被測(cè)件的干涉圓環(huán)信息，然后用數(shù)字圖像處理技術(shù)對(duì)干涉圖像進(jìn)行濾波平滑、條紋細(xì)化、中心條紋提取、干涉環(huán)直徑測(cè)量等操作。通過(guò)詳實(shí)周密的數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)了測(cè)量結(jié)果的優(yōu)化。針對(duì)圖像測(cè)量系統(tǒng)普遍存在的測(cè)量誤差，本論文還探討了CCD等傾干涉測(cè)試系統(tǒng)的測(cè)量誤差產(chǎn)生的原因和消除的途徑。 通過(guò)大量的測(cè)試實(shí)驗(yàn)證明，CCD等傾干涉測(cè)試系統(tǒng)能夠應(yīng)用數(shù)字圖像處理技術(shù)對(duì)等傾干涉條紋進(jìn)行實(shí)時(shí)采集和測(cè)量