壓電陶瓷驅(qū)動器特性研究及二維微納定位平臺結(jié)構(gòu)設(shè)計.pdf

1、微納定位技術(shù)是現(xiàn)代高新科技和現(xiàn)代工業(yè)中的一項關(guān)鍵技術(shù)，在精密制造、超精測量和微操縱等諸多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。近年來，現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)和工業(yè)的不斷發(fā)展，對微納定位技術(shù)提出了大行程、高精度、小體積和快速響應(yīng)等更高的要求，其中對定位精度和分辨率的要求達到了納米量級。微納定位技術(shù)的水平反映了一個國家的科技發(fā)展?fàn)顩r和綜合實力，開展微納定位技術(shù)的相關(guān)研究，對促進我國先進制造、超精密加工與測量、國防軍工等高新技術(shù)行業(yè)的快速發(fā)展有著重大而深遠(yuǎn)的意義。

2、>　　 論文在綜述國內(nèi)外關(guān)于微納定位平臺系統(tǒng)研究與應(yīng)用現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，重點圍繞壓電陶瓷驅(qū)動器的基本特性、壓電陶瓷驅(qū)動器遲滯非線性建模方法、二維微納定位平臺的設(shè)計與分析、二維微納定位平臺系統(tǒng)的構(gòu)建等方面展開理論分析和實驗研究.
　　 第一章介紹微納定位技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域、微納定位平臺系統(tǒng)的構(gòu)成及各組成部分的特點，然后闡述壓電陶瓷驅(qū)動器基本特性和微納定位平臺的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，最后介紹本論文的課題來源和主要研究內(nèi)容。
　　 第二章

3、通過分析壓電陶瓷驅(qū)動器的工作原理，設(shè)計壓電陶瓷驅(qū)動器的預(yù)載荷加載裝置，實現(xiàn)驅(qū)動器的定量和安全加載。針對壓電陶瓷驅(qū)動器的力--位移特性、電壓--位移特性、輸出重復(fù)性、輸出蠕變特性和溫度特性等基本特性，進行理論分析和實驗研究.
　　 第三章主要闡述用于壓電陶瓷驅(qū)動器遲滯非線性建模的Preisach模型的建立，重點研究應(yīng)用線性插值法和BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)方法對Preisach函數(shù)X(α，β)值進行求解的方法，并通過仿真和實驗研究對兩種方法的求