多維坐標(biāo)結(jié)晶器內(nèi)腔尺寸自動(dòng)測(cè)量機(jī)的研制.pdf

1、　　三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(CMM)是一種通用性強(qiáng)、自動(dòng)化程度高、高精度、高效率的測(cè)量系統(tǒng)，在先進(jìn)制造技術(shù)和科學(xué)研究中有著極為廣泛的應(yīng)用。它將幾何元素的測(cè)量轉(zhuǎn)化為幾何元素上點(diǎn)集坐標(biāo)位置的測(cè)量，并通過數(shù)據(jù)處理軟件按一定的算法和評(píng)定準(zhǔn)則得到幾何元素的尺寸、形狀、相對(duì)位置及誤差。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)以精密機(jī)械為基礎(chǔ)，綜合應(yīng)用了光學(xué)、電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)等先進(jìn)技術(shù)。它主要包括測(cè)量機(jī)機(jī)體、電氣系統(tǒng)、測(cè)頭和軟件系統(tǒng)四大部分?！　”菊n題受企業(yè)委托，研制一臺(tái)專門用于工

2、字鋼結(jié)晶器內(nèi)腔尺寸測(cè)量的測(cè)量機(jī)。該尺寸測(cè)量機(jī)的實(shí)質(zhì)就是一臺(tái)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，具有一般三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的常用功能。本文主要結(jié)合課題的實(shí)際研究過程，介紹了多維坐標(biāo)結(jié)晶器內(nèi)腔尺寸自動(dòng)測(cè)量機(jī)的研制情況。主要包括尺寸測(cè)量機(jī)主機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、電氣系統(tǒng)的選型和使用以及軟件部分。測(cè)量機(jī)的軟件部分又包括測(cè)量數(shù)學(xué)模型的建立、測(cè)頭的校正、坐標(biāo)系的建立、測(cè)量運(yùn)動(dòng)的控制、測(cè)量路徑的規(guī)劃等等?！　”菊n題的機(jī)械部分和電氣部分已經(jīng)基本完成，本文中建立的軟件部分也可以在VC