微波毫米波前端中的LTCC技術(shù)研究.pdf

1、近些年發(fā)展起來(lái)的低溫共燒陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic)技術(shù)，即LTCC技術(shù)，是MCM-C中的一種最有發(fā)展前途的技術(shù)，因其在微波毫米波頻段表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，已經(jīng)成為微波毫米波高密度集成技術(shù)研究發(fā)展的熱點(diǎn)。本文針對(duì)基于LTCC技術(shù)的微波毫米波前端設(shè)計(jì)過(guò)程中的部分關(guān)鍵問(wèn)題展開(kāi)研究，取得了一些有益的成果。主要的研究工作如下：
　　 1．毫米波波導(dǎo)-微帶過(guò)渡：由于LTCC工藝的限制，不規(guī)則基板加工

2、困難，傳統(tǒng)的波導(dǎo)-微帶過(guò)渡結(jié)構(gòu)不適用于LTCC技術(shù)。因此，基于LTCC的特點(diǎn)，本文提出了多種矩形波導(dǎo)-微帶過(guò)渡結(jié)構(gòu)，主要包括基于SIR開(kāi)槽的八毫米波波導(dǎo)-微帶過(guò)渡結(jié)構(gòu)、基于E面探針的三毫米波波導(dǎo)-微帶過(guò)渡結(jié)構(gòu)和基于介質(zhì)集成波導(dǎo)的三毫米波波導(dǎo)-微帶過(guò)渡結(jié)構(gòu)，并且進(jìn)行加工測(cè)試，均獲得了比較理想的性能。
　　 2．微波毫米波帶通濾波器：利用LTCC的多層結(jié)構(gòu)，可以設(shè)計(jì)出性能優(yōu)異、結(jié)構(gòu)新穎的微波毫米波濾波器。本文提出了U型SIR和折疊型

3、SIR帶通濾波器兩種結(jié)構(gòu)?；诮橘|(zhì)集成折疊波導(dǎo)，本文提出了多種多層帶通濾波器結(jié)構(gòu)，包括基于H面膜片、H面狹槽、H面膜片和狹槽、以及基于雙H面膜片的SIFW帶通濾波器結(jié)構(gòu)。本文提出了一種新型的傳輸結(jié)構(gòu)，即半模介質(zhì)集成折疊波導(dǎo)?；谶@種HMSIFW傳輸結(jié)構(gòu)，提出了一種基于H面膜片和狹槽的帶通濾波器結(jié)構(gòu)，實(shí)驗(yàn)證明了濾波器結(jié)構(gòu)的可行性。
　　 3．微波數(shù)字移相器：本文采用傳統(tǒng)的單層介質(zhì)材料對(duì)Ku波段六位數(shù)字移相器進(jìn)行了設(shè)計(jì)，獲得了良好的

4、實(shí)驗(yàn)結(jié)果。在此基礎(chǔ)上，提出了一種新型帶加載的開(kāi)關(guān)線型移相器結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)寬帶非色散移相器。采用這種結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了基于LTCC技術(shù)的X波段四位數(shù)字移相器，獲得了較好的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
　　 4．毫米波寬帶開(kāi)關(guān)濾波組件：本文提出了一種新型三線帶通濾波器結(jié)構(gòu)，利用該結(jié)構(gòu)和傳統(tǒng)的E面膜片帶通濾波器結(jié)構(gòu)分別實(shí)現(xiàn)了覆蓋Ka波段的四路開(kāi)關(guān)濾波組件和兩路開(kāi)關(guān)濾波組件，獲得了良好的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。在此基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)完成了基于LTCC技術(shù)的18-40GHz的