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1、功率器件作為集成電路的一個(gè)發(fā)展方向,其應(yīng)用的范圍不斷擴(kuò)大,VDMOS晶體管作為功率器件中重要的一種,具有高輸入阻抗、速度快、沒(méi)有二次擊穿等優(yōu)點(diǎn)。國(guó)內(nèi)的各功率半導(dǎo)體廠家越來(lái)越多的投入到VDMOS研發(fā)當(dāng)中。本論文針對(duì)600V/10A高壓大電流VDMOS功率晶體管作為主要研究對(duì)象,分析VDMOS工作原理,設(shè)計(jì)一種適宜推向市場(chǎng)的VDMOS產(chǎn)品,并在電容特性方面進(jìn)行創(chuàng)新與探索性的研究。主要進(jìn)行如下的工作:1.研究VDMOS功率器件的結(jié)構(gòu)與工作原理
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