LCoS屏的工藝制備及特性研究.pdf

1、硅上液晶（Liquid Crystal on Silicon，LCoS）顯示技術(shù)是一種反射式液晶顯示技術(shù)，是CMOS半導(dǎo)體集成電路技術(shù)和液晶顯示技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，具有高密度、高分辨率、高開口率、高亮度、輕、薄、成本低等優(yōu)點(diǎn)。LCoS是投影技術(shù)和微型顯示系統(tǒng)發(fā)展的重要技術(shù)之一，具有廣闊的市場(chǎng)背景。
　　 論文在深入理解 TFT-LCD的工作原理基礎(chǔ)上，對(duì)硅基液晶顯示器件的工藝結(jié)構(gòu)、顯示原理和彩色顯示的實(shí)現(xiàn)方法進(jìn)行了深入研究。著重分

2、析了幾種LCoS的顯示模式，并采用Matlab模擬計(jì)算各種模式的偏振轉(zhuǎn)換效率（PCE，polarizing conversion efficiency）曲線，通過(guò)PCE曲線判斷每種模式能夠達(dá)到的最大反射率，以此判斷工作模式的優(yōu)劣，同時(shí)也可以確定相應(yīng)模式下LCOS液晶屏的工藝參數(shù)。
　　 以模擬結(jié)果為指導(dǎo)，工藝上流通了LCoS屏的工藝流程，確定了相應(yīng)的工藝參數(shù)，完成了LCOS液晶樣品屏的制備。并對(duì)影響LCoS液晶屏的反射率的主要參

3、數(shù)：盒厚、取向膜厚度及封盒的壓力，進(jìn)行了重點(diǎn)探討，給出了工藝實(shí)驗(yàn)結(jié)果。搭建了測(cè)試光路，對(duì)制備的不同工作模式的LCoS樣品屏進(jìn)行了反射率的測(cè)量，測(cè)試了光電特性曲線，對(duì)結(jié)果進(jìn)行了分析與比較，并針對(duì)不同工作模式的缺陷，提出了進(jìn)一步改進(jìn)的建議。
　　 總之，本文以LCoS顯示屏為研究對(duì)象，研究了其工作機(jī)理和顯示方式；通過(guò)模擬計(jì)算分析了影響反射率的工藝參數(shù)；以理論計(jì)算為指導(dǎo)，流通了工藝制備流程，完成了LCoS液晶盒的制備；通過(guò)搭建的實(shí)驗(yàn)平