新型陣列式發(fā)光二級管的關鍵工藝研究.pdf

1、本文基于創(chuàng)新設計的陣列式LED結構,完成了器件的版圖設計和繪制,通過對實驗潛在的問題的分析提出了總實驗方案。主要研究結果如下:
　　 1、設計了一種新型陣列式LED器件,其主要功能是通過行線和列線的驅動可以使得行線和列線交叉處的每一個LED小單元單獨發(fā)光。
　　 2、本研究將構成此發(fā)光二極管陣列的多個發(fā)光二極管單元,以半導體工藝制作于同一襯底上,從而縮小了整個發(fā)光二極管陣列的尺寸和節(jié)省了發(fā)光二極管陣列的制作成本。

2、　　 3、以二氧化硅做掩膜,通過連續(xù)刻蝕的方式實現(xiàn)深寬比較大的隔離槽的刻蝕,采用臺階儀、SEM等進行分析,保證隔離槽刻蝕到藍寶石之上,使得各個發(fā)光二極管單元之間實現(xiàn)電學隔離,減少了漏電現(xiàn)象的發(fā)生。
　　 4、在具備倒裝工藝的條件下,描述了倒裝陣列式發(fā)光二極管器件的制作流程,并且給出了Si基板上的會凸點圖形。
　　 5、在不具備倒裝工藝的條件下,為了采用正裝的方式完成器件的測試,避免P電極塌陷造成P電極和N電極短路,給出