制備環(huán)境溫度及紫外線燈照射改善ITO薄膜性能的研究.pdf

1、本研究的主要目的是通過紫外燈照射和制備環(huán)境溫度來提高溶膠凝膠法制備的ITO薄膜的導(dǎo)電性能,為最終獲得性能優(yōu)良的ITO薄膜提供理論和實(shí)際依據(jù)。
　　 首先,通過對(duì)五組不同制備環(huán)境溫度下制得的ITO薄膜光電性能的比較獲得:低制備環(huán)境溫度有利于凝膠的形成,提高其導(dǎo)電性和透光性。
　　 其次,用不同功率和波長(zhǎng)紫外燈照射ITO薄膜,發(fā)現(xiàn)其能有效提高ITO薄膜的導(dǎo)電性,使銦外層電子產(chǎn)生躍遷,增加其遷移率,減小其方阻。方阻相對(duì)減小值會(huì)

2、隨著紫外燈功率的增大而增大,波長(zhǎng)的減小而增大。將照射處理后的ITO薄膜放置在空氣中,其導(dǎo)電性能不但不會(huì)發(fā)生衰減,而且由于其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的自身作用,還會(huì)有進(jìn)一步提高的現(xiàn)象,方阻最小值可達(dá)到41.378Ω/□,電阻率為1.86x10-3Ω·cm。然后對(duì)其使用壽命進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究:將紫外燈照射后的ITO薄膜在高溫煅燒。其方阻會(huì)隨著煅燒時(shí)間的增加而不斷增大,煅燒溫度越低,其增大的速度越慢。計(jì)算得在423K環(huán)境下其使用壽命(方阻增大10％)為2056.