高精度大口徑拼接光柵裝置的綜合分析.pdf

1、衍射光柵是一種精密的分光元件，是各種光譜儀器的核心器件。目前，天文物理學(xué)以及高能激光脈沖等研究領(lǐng)域所需的光柵已達(dá)到了米量級(jí)。因此，大口徑光柵的制備十分迫切，大口徑光柵的研制也一直是國(guó)際光柵領(lǐng)域的重大課題之一。最常見(jiàn)的是采用多塊光柵進(jìn)行拼接或者全息拼接技術(shù)獲得。要達(dá)到光柵拼接的高精度要求，就要設(shè)計(jì)出能夠進(jìn)行高精度調(diào)整的拼接裝置。本文在國(guó)內(nèi)外拼接光柵已取得成果的基礎(chǔ)上，介紹了哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制的宏/微結(jié)合驅(qū)動(dòng)的光柵拼接裝置，并對(duì)該拼接裝置進(jìn)

2、行了綜合分析。
　　首先，對(duì)拼接裝置進(jìn)行了結(jié)構(gòu)等效，計(jì)算機(jī)構(gòu)自由度。根據(jù)結(jié)構(gòu)等效結(jié)構(gòu)建立機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)學(xué)逆解模型，運(yùn)用MATLAB對(duì)機(jī)構(gòu)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)逆解仿真，實(shí)現(xiàn)了裝置運(yùn)動(dòng)的可視化?；谶\(yùn)動(dòng)學(xué)逆解求解機(jī)構(gòu)的雅克比矩陣，分析機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)中的奇異形位，采用實(shí)際數(shù)據(jù)計(jì)算機(jī)構(gòu)工作空間。
　　其次，以宏驅(qū)動(dòng)拼接裝置為例進(jìn)行了拼接裝置的誤差分析并進(jìn)行誤差補(bǔ)償?；谶\(yùn)動(dòng)學(xué)逆解建立誤差模型，分析各誤差源誤差分布情況，采用蒙特卡洛方法對(duì)拼接裝置進(jìn)行誤差分析