紫外激光微細(xì)加工實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、紫外激光自出現(xiàn)以來(lái)，以其在材料加工中表現(xiàn)出來(lái)的熱效應(yīng)少等優(yōu)點(diǎn)，成為微細(xì)加工方面的一個(gè)研究熱點(diǎn)。研究各工藝參數(shù)對(duì)加工質(zhì)量的影響、摸索參數(shù)選擇規(guī)律具有很重要的意義。本文即采用理論分析與實(shí)驗(yàn)結(jié)合的方式予以研究。
　　本文首先對(duì)紫外激光與材料的基本作用機(jī)理進(jìn)行了介紹，對(duì)紫外激光加工材料時(shí)可能出現(xiàn)的各種消融原理和重要影響因素進(jìn)行了分析，并論述了前人研究建立的數(shù)理模型，并分別對(duì)他們遇到的問(wèn)題予以說(shuō)明。針對(duì)紫外激光加工中的消融閾值的概念提出本文

2、的理解，通過(guò)宏觀和微觀兩個(gè)方面對(duì)其意義進(jìn)行探索，建立紫外激光與材料作用過(guò)程的微觀模型框架，并通過(guò)該模型分析預(yù)測(cè)工藝參數(shù)對(duì)加工質(zhì)量的影響趨勢(shì)。然后進(jìn)行實(shí)驗(yàn)工作，分別對(duì)藍(lán)寶石、工具鋼、鈦合金和鋁基碳化硅復(fù)合材料進(jìn)行了多組對(duì)比實(shí)驗(yàn)，分析工藝參數(shù)、環(huán)境條件對(duì)于加工的影響；根據(jù)摸索出的規(guī)律，結(jié)合理論分析，選取了較為合理的參數(shù)加工了一個(gè)25μm×25μm的方槽。
　　最后，為了研究紫外激光加工參數(shù)的問(wèn)題，本文建立一個(gè)工藝參數(shù)庫(kù)系統(tǒng)，在 Win